项目 系列 |
SiF950 |
SiF1050 |
SiF1100 |
SiF1200 |
腔体内径 |
Φ940mm |
Φ1050mm |
Φ1100mm |
Φ1200mm |
热场规格 |
20",22" |
22",24"(标准),26"(可配) |
24",26"(标准),28"(可配) |
26",28",30" |
晶棒直径 |
Φ155mm~Φ205mm 6"~8" |
Φ205mm~Φ254mm 8"~10" |
Φ205mm~Φ254mm 8"~10" |
Φ205mm~Φ254mm 8"~10" |
最大结晶长度(直胴长度) |
1350mm |
1750mm~2000mm |
4000mmm |
3500~4500mm |
初期装料量追加装料后 |
120kg 150kg(追加) |
150kg(标准) 170kg(追加) |
190kg 300kg(追加) |
400kg |