项目    系列

SiF950

SiF1050

SiF1100

SiF1200

腔体内径

Φ940mm

Φ1050mm

Φ1100mm

Φ1200mm

热场规格

20",22"

22",24"(标准),26"(可配)

24",26"(标准),28"(可配)

26",28",30"

晶棒直径

Φ155mm~Φ205mm        6"8"

Φ205mm~Φ254mm               8"10"

Φ205mm~Φ254mm                8"10"

Φ205mm~Φ254mm                8"10"

最大结晶长度(直胴长度)

1350mm

1750mm2000mm

4000mmm

35004500mm

初期装料量追加装料后

120kg  150kg(追加)

150kg(标准) 170kg(追加)

190kg  300kg(追加)

400kg